செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிகேஷன் வசதியின் மலட்டு, காலநிலை-கட்டுப்படுத்தப்பட்ட சூழலுக்குள், ஒரு சிலிக்கான் வேஃபர் நூற்றுக்கணக்கான சிக்கலான செயலாக்க படிகள் வழியாக ஒரு பயணத்தைத் தொடங்குகிறது. ஒவ்வொரு கட்டத்திலும், செதில்களின் மேற்பரப்பு குறைபாடற்ற சுத்தமாக இருக்க வேண்டும். ஆனால் ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் அகற்றுதல், பொறித்தல் அல்லது படிதல் ஆகியவற்றிற்குப் பிறகு, நுண்ணிய அசுத்தங்கள் தவிர்க்க முடியாமல் இருக்கும்-கரிம எச்சங்கள், நேட்டிவ் ஆக்சைடுகள் மற்றும் துணை-மைக்ரான் துகள்கள். இந்த கண்ணுக்குத் தெரியாத எதிரிகள், ஒரு சில நானோமீட்டர்கள் முழுவதும் அளந்து, பேரழிவு குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தலாம்: திறந்த சுற்று, ஒரு குறுகிய அல்லது செயல்திறன் விவரக்குறிப்புகளைப் பூர்த்தி செய்யத் தவறிய சாதனம். பாரம்பரிய ஈரமான துப்புரவு முறைகள், இரசாயன குளியல் மற்றும் கழுவுதல்களை நம்பியிருக்கின்றன, உயர்-விகித கட்டமைப்புகளின் அடிப்பகுதியை அடைய போராடுகின்றன மற்றும் அவை மாசுபடுத்தும் இரசாயன எச்சங்களை விட்டுவிடலாம். செமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா சுத்திகரிப்பு தொழில்நுட்பம் உருவாக்கப்பட்ட சவாலாக இது உள்ளது.
செமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனர் என்பது செமிகண்டக்டர் ஆய்வுக் கருவியின் ஒரு சிறப்புப் பகுதியாகும், இது பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்துகிறது - எலக்ட்ரான்கள், அயனிகள் மற்றும் நடுநிலை தீவிரவாதிகள் ஆகியவற்றைக் கொண்ட அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட வாயு - அடிப்படைப் பொருளை சேதப்படுத்தாமல் குறைக்கடத்தி மேற்பரப்பில் இருந்து மாசுபாட்டை நீக்குகிறது. இந்த செயல்முறை உலர், இரசாயனங்கள் இல்லாதது மற்றும் நவீன குறைக்கடத்தி சாதனங்களை வகைப்படுத்தும் நுண்ணிய அம்சங்களை சுத்தம் செய்வதில் மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கும். இந்த கட்டுரை குறைக்கடத்தி பற்றிய விரிவான தொழில்நுட்ப அறிமுகத்தை வழங்கும்பிளாஸ்மா கிளீனர்கள். பிளாஸ்மாவின் அடிப்படை இயற்பியலை ஆராய்வோம், ஒரு பொதுவான அமைப்பை உருவாக்கும் கூறுகளை உடைப்போம், செயல்திறனை வரையறுக்கும் முக்கிய தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகளை ஆராய்வோம், மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் பேக்கேஜிங்கில் இந்த குறைக்கடத்தி ஆய்வுக் கருவி முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. நீங்கள் புதிய உபகரணங்களைக் குறிப்பிடும் பொறியியலாளராக இருந்தாலும், இந்தக் கருவிகளை இயக்கும் தொழில்நுட்ப வல்லுநராக இருந்தாலும் சரி, அல்லது குறைக்கடத்தி விநியோகச் சங்கிலியில் உள்ள முக்கிய தொழில்நுட்பத்தைப் புரிந்துகொள்ள முயல்பவராக இருந்தாலும் சரி, இந்தக் கட்டுரை உங்களுக்குத் தேவையான அத்தியாவசிய அறிவை வழங்கும்.
A செமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனர்செமிகண்டக்டர் செதில்கள், சிப் பேக்கேஜ்கள், லீட் பிரேம்கள் மற்றும் பிற எலக்ட்ரானிக் கூறுகளை சுத்தம் செய்ய பிளாஸ்மாவின் தனித்துவமான பண்புகளைப் பயன்படுத்தும் ஒரு துல்லியமான கருவியாகும். அதன் மையத்தில், சாதனம் குறைந்த அழுத்த வாயுவில் மின் வெளியேற்றத்தை உருவாக்குகிறது, இது மிகவும் எதிர்வினை சூழலை உருவாக்குகிறது. இந்த பிளாஸ்மா-பொருளின் நான்காவது நிலை-அதிக ஆற்றல் வாய்ந்த துகள்களின் சிக்கலான காக்டெய்லைக் கொண்டுள்ளது: உடல் ரீதியாக மேற்பரப்பைத் தாக்கும் அயனிகள், அசுத்தங்களுடன் வேதியியல் ரீதியாக வினைபுரியும் ஃப்ரீ ரேடிக்கல்கள் மற்றும் வெளியேற்றத்தைத் தக்கவைக்க உதவும் எலக்ட்ரான்கள். இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் நடவடிக்கைகளின் கலவையானது கரிம எச்சங்கள், ஆக்சைடுகள் மற்றும் துகள் மாசுபாட்டை உணர்திறன் மின்னணு கட்டமைப்புகளை சேதப்படுத்தாமல் திறம்பட நீக்குகிறது.
பிளாஸ்மா சுத்திகரிப்புக்கு பின்னால் உள்ள அடிப்படைக் கொள்கை விவரிக்க வியக்கத்தக்க எளிமையானது, ஆனால் அதன் செயல்பாட்டில் நேர்த்தியானது. ஒரு செயல்முறை அறை கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வெற்றிட நிலைக்கு வெளியேற்றப்படுகிறது. ஒரு செயல்முறை வாயு-பொதுவாக ஆக்ஸிஜன், ஆர்கான், ஹைட்ரஜன் அல்லது கலவை-அறைக்குள் அறிமுகப்படுத்தப்படுகிறது. கதிரியக்க அதிர்வெண் (RF) அல்லது மைக்ரோவேவ் சக்தி வாயுவிற்குப் பயன்படுத்தப்பட்டு, அதை அயனியாக்கி பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகிறது. பிளாஸ்மாவுக்குள், ஆக்ஸிஜன் ரேடிக்கல்கள் (O*) ஹைட்ரோகார்பன் அசுத்தங்களுடன் தீவிரமாக வினைபுரிந்து, அவற்றை கார்பன் டை ஆக்சைடு மற்றும் நீராவி போன்ற ஆவியாகும் துணை தயாரிப்புகளாக மாற்றுகின்றன, பின்னர் அவை வெற்றிட அமைப்பால் வெளியேற்றப்படுகின்றன. அதே நேரத்தில், ஆர்கான் அயனிகள் துகள்களை அகற்றி மேற்பரப்பை செயல்படுத்த உதவும் உடல் குண்டுவீச்சை வழங்குகிறது. இதன் விளைவாக, ஒரு சுத்தமான, வேதியியல் ரீதியாக செயல்படுத்தப்பட்ட மேற்பரப்பு அடுத்த உற்பத்திக்கு தயாராக உள்ளது.
இந்த துப்புரவு பொறிமுறையானது பல முக்கியமான நன்மைகளை வழங்குகிறது. செயல்முறை முற்றிலும் உலர்ந்தது, திரவ இரசாயனங்கள் மற்றும் அதனுடன் தொடர்புடைய கழிவுகளை அகற்றுவதற்கான தேவையை நீக்குகிறது. வெப்ப சேதத்தைத் தவிர்க்க பிளாஸ்மா வெப்பநிலையை துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்த முடியும் என்பதால், இது இயல்பாகவே மென்மையானது. மிக முக்கியமாக, இது ஐசோட்ரோபிக் ஆகும் - அதாவது அனைத்து திசைகளிலும் மேற்பரப்புகளை சுத்தம் செய்ய முடியும், இதில் திரவ துப்புரவு தீர்வுகள் அடைய முடியாத உயர்-விகித அம்சங்களின் உட்புறங்கள் உட்பட. இந்தக் காரணங்களுக்காக, செமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனர், மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, MEMS ஃபேப்ரிகேஷன் மற்றும் சாதன பேக்கேஜிங் ஆகியவற்றில் குறைக்கடத்தி ஆய்வுக் கருவியின் தவிர்க்க முடியாத பகுதியாக மாறியுள்ளது.
ஒரு நவீனசெமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனர்பல முக்கியமான துணை அமைப்புகளைக் கொண்ட ஒரு சிக்கலான எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் அமைப்பு, ஒவ்வொன்றும் துப்புரவு செயல்பாட்டில் ஒரு குறிப்பிட்ட பாத்திரத்தை வகிக்கிறது. இந்த வகை செமிகண்டக்டர் ஆய்வுக் கருவிகளைக் குறிப்பிடுவதற்கும், இயக்குவதற்கும், பராமரிப்பதற்கும் பொறுப்பான பொறியாளர்களுக்கு இந்தக் கூறுகளைப் புரிந்துகொள்வது அவசியம். பின்வரும் அட்டவணை முக்கிய கூறுகள் மற்றும் அவற்றின் முக்கிய பண்புகளின் விரிவான முறிவை வழங்குகிறது.
| கூறு | செயல்பாடு | முக்கிய தேர்வு அளவுகோல்கள் |
| வெற்றிட அறை | செயலாக்க சூழலை உள்ளடக்கியது மற்றும் பிளாஸ்மா உருவாக்கத்திற்கான வெற்றிட நிலைமைகளை பராமரிக்கிறது. | பொருள் (அலுமினியம் அலாய் எதிராக துருப்பிடிக்காத எஃகு), தொகுதி, உள் வடிவியல், அடிப்படை அழுத்தம் (பொதுவாக 10^-5 Torr). |
| RF பவர் சப்ளை & மேட்சிங் நெட்வொர்க் | பிளாஸ்மாவை உருவாக்கி நிலைநிறுத்த RF சக்தியை (பொதுவாக 13.56 MHz) உருவாக்கி வழங்குகிறது. | அதிர்வெண் (13.56 மெகா ஹெர்ட்ஸ் தொழில்துறை தரநிலை), மின் உற்பத்தி, மின்மறுப்பு பொருத்தும் திறன். |
| எரிவாயு விநியோக அமைப்பு | செயல்முறை வாயுக்களின் (O2, Ar, H2, CF4) அறைக்குள் ஓட்டத்தை கட்டுப்படுத்துகிறது மற்றும் ஒழுங்குபடுத்துகிறது. | மாஸ் ஃப்ளோ கன்ட்ரோலர்கள் (MFCகள்), வாயு தூய்மை (பொதுவாக 99.999% அல்லது அதற்கு மேல்), எரிவாயு இணைப்புகளின் எண்ணிக்கை. |
| வெற்றிட உந்தி அமைப்பு | தேவையான வெற்றிட நிலைக்கு அறையை வெளியேற்றுகிறது மற்றும் செயல்முறை துணை தயாரிப்புகளை நீக்குகிறது. | பம்ப் வகை (ரோட்டரி வேன் + டர்போமோலிகுலர்), உந்தி வேகம், இறுதி வெற்றிட நிலை. |
| மின்முனை சட்டசபை | ஜோடிகளுக்கு RF சக்தி பிளாஸ்மாவுக்குள்; கொள்ளளவு அல்லது தூண்டல் இணைப்பாக இருக்கலாம். | மின்முனை வடிவியல் (இணை தட்டு எதிராக தொலை பிளாஸ்மா), பொருட்கள் (அலுமினியம், சிலிக்கான்), குளிர்ச்சி. |
| அழுத்தம் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு | த்ரோட்டில் வால்வு மற்றும் பிரஷர் சென்சார்கள் மூலம் நிலையான செயல்முறை அழுத்தத்தை பராமரிக்கிறது. | பிரஷர் சென்சார் வகை (கொள்ளளவு மனோமீட்டர், பிரனி கேஜ்), கட்டுப்பாட்டு துல்லியம், மறுமொழி நேரம். |
| கட்டுப்பாடு மற்றும் கண்காணிப்பு அமைப்பு | அனைத்து கணினி செயல்பாடுகளையும் ஒருங்கிணைக்கிறது மற்றும் செயல்முறை அளவுருக்களை கண்காணிக்கிறது; பெரும்பாலும் HMI தொடுதிரை அடங்கும். | மென்பொருள் இடைமுகம், தரவு பதிவு செய்தல், செய்முறை மேலாண்மை, அலாரம் செயல்பாடுகள், இணைப்பு (ஆட்டோமேஷனுக்கான SECS/GEM). |
இந்த கூறுகளின் ஒருங்கிணைப்பு மற்றும் மேம்படுத்துதலுக்கு எங்கள் தொழிற்சாலை சிறப்பு முக்கியத்துவம் அளிக்கிறது. உதாரணமாக, RF அதிர்வெண்ணின் தேர்வு, பிளாஸ்மா அடர்த்தி மற்றும் அயனி ஆற்றலில் ஆழமான விளைவுகளை ஏற்படுத்துகிறது. 13.56 மெகா ஹெர்ட்ஸ் என்பது தொழில்துறை, அறிவியல் மற்றும் மருத்துவ (ஐஎஸ்எம்) அதிர்வெண் இசைக்குழுவாக வகைப்படுத்தப்படுவதால் தொழில் தரநிலையாக இருந்தாலும், அறை நேரடி-பிளாஸ்மா அல்லது கீழ்நிலை-பிளாஸ்மா பயன்முறையில் இயங்குகிறதா என்பதை எலக்ட்ரோடு உள்ளமைவின் தேர்வு தீர்மானிக்கிறது. ஒரு நேரடி-பிளாஸ்மா ( கொள்ளளவு இணைக்கப்பட்ட) அமைப்பு உடல் சுத்தம் மற்றும் மேற்பரப்பைச் செயல்படுத்துவதற்கு ஏற்ற அதிக ஆற்றல் வாய்ந்த பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகிறது, அதே சமயம் கீழ்நிலை (தூண்டுதல் இணைக்கப்பட்ட) அமைப்பு மென்மையானது மற்றும் அயனி சேதத்தைத் தவிர்க்கிறது, இது உணர்திறன் குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
முழுமையாக வகைப்படுத்த ஏசெமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனர், பொறியாளர்கள் அதன் சுத்தம் செய்யும் திறன், செயல்திறன் மற்றும் செயல்பாட்டு உறை ஆகியவற்றை வரையறுக்கும் தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகளின் தொகுப்பைப் புரிந்து கொள்ள வேண்டும். இந்த அளவுருக்கள் செயல்முறை முடிவுகளை நேரடியாக பாதிக்கின்றன மற்றும் இந்த வகை செமிகண்டக்டர் ஆய்வுக் கருவியைத் தேர்ந்தெடுக்கும்போது கவனமாக மதிப்பீடு செய்யப்பட வேண்டும். ஒரு பொதுவான செமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனர் சிஸ்டத்திற்கான முக்கியமான விவரக்குறிப்புகளின் விரிவான கண்ணோட்டத்தை கீழே உள்ள அட்டவணை வழங்குகிறது.
| அளவுரு | வழக்கமான மதிப்பு வரம்பு | செயல்திறனில் தாக்கம் |
| அறை தொகுதி | 20 முதல் 200 லிட்டர் | தொகுதி அளவை தீர்மானிக்கிறது; பெரிய அறைகள் ஒரு ஓட்டத்திற்கு பெரிய அடி மூலக்கூறுகள் அல்லது அதிக செதில்களுக்கு இடமளிக்கின்றன. |
| RF பவர் வெளியீடு | 50 W முதல் 10 kW வரை | அதிக சக்தியானது அதிக பிளாஸ்மா அடர்த்தியை விரைவாக சுத்தம் செய்வதற்கும் அதிக பிடிவாதமான அசுத்தங்களை அகற்றுவதற்கும் உதவுகிறது. |
| RF அதிர்வெண் | 13.56 MHz அல்லது 2.45 GHz (மைக்ரோவேவ்) | 13.56 மெகா ஹெர்ட்ஸ் நிலையானது; நுண்ணலை (2.45 GHz) சிறப்பு செயல்முறைகளுக்கு அதிக அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகிறது. |
| அடிப்படை அழுத்தம் | 10^-5 முதல் 10^-6 Torr | குறைந்த அடிப்படை அழுத்தம் பின்னணி மாசுபாட்டை குறைக்கிறது மற்றும் செயல்முறை தூய்மையை மேம்படுத்துகிறது. |
| செயல்முறை அழுத்தம் | 50 முதல் 500 mTorr | குறைந்த அழுத்தம் அதிக திசை அயனி குண்டுவீச்சை உருவாக்குகிறது; அதிக அழுத்தம் இரசாயன எதிர்வினைகளை அதிகரிக்கிறது. |
| எரிவாயு ஓட்டம் கட்டுப்பாடு | 0 முதல் 500 sccm (நிலையான கன செமீ/நிமிடம்) | துல்லியமான ஓட்டக் கட்டுப்பாடு மீண்டும் உற்பத்தி செய்யக்கூடிய வாயு கலவை மற்றும் துப்புரவு முடிவுகளை உறுதி செய்கிறது. |
| வெப்பநிலை சீரான தன்மை | அடி மூலக்கூறு முழுவதும் +/- 5°C | சீரான வெப்பநிலை அடி மூலக்கூறின் அனைத்து பகுதிகளிலும் சீரான சுத்தம் செய்வதை உறுதி செய்கிறது. |
| பிளாஸ்மாவின் சீரான தன்மை | பொதுவாக அறை முழுவதும் +/- 5% மாறுபாடு | ஒரு தொகுப்பில் உள்ள அனைத்து அடி மூலக்கூறுகளும் ஒரே மாதிரியான துப்புரவு அளவைப் பெறுவதை நல்ல சீரான தன்மை உறுதி செய்கிறது. |
| சுழற்சி நேரம் | 2 முதல் 20 நிமிடங்கள் (வென்ட் செய்ய கீழே பம்ப்) | குறுகிய சுழற்சி நேரம் செயல்திறனை அதிகரிக்கிறது; துப்புரவு செயல்திறனுடன் சமநிலை முக்கியமானது. |
இந்த விவரக்குறிப்புகள் தன்னிச்சையானவை அல்ல. எடுத்துக்காட்டாக, 10^-5 Torr இன் அடிப்படை அழுத்தம் தேவையற்ற எதிர்வினைகளைத் தடுக்கும் செயல்முறை வாயு அறிமுகப்படுத்தப்படுவதற்கு முன்பு அறையில் எஞ்சியிருக்கும் நீராவி மற்றும் ஆக்ஸிஜனைக் குறைக்க அவசியம். 13.56 மெகா ஹெர்ட்ஸ் RF அதிர்வெண் என்பது சர்வதேச அளவில் ஒப்புக்கொள்ளப்பட்ட ISM அதிர்வெண் ஆகும், இது வானொலி தகவல்தொடர்புகளில் குறுக்கிடுவதைத் தவிர்க்க தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டது. பொதுவாக வெப்ப மாஸ் ஃப்ளோ கன்ட்ரோலர்கள் மூலம் அடையப்படும் வாயு ஓட்டக் கட்டுப்பாட்டுத் துல்லியமானது, தொகுதி-க்கு-தொகுதி மறுபரிசீலனையை உறுதிசெய்ய, செட் பாயின்ட்டின் +/- 1% க்குள் பராமரிக்கப்பட வேண்டும். எங்கள் தொழிற்சாலையில், நாங்கள் நுணுக்கமான அளவுத்திருத்தத் தரங்களைப் பராமரித்து, ஒவ்வொரு கணினியிலும் விரிவான செயல்முறைத் தகுதி தொகுப்புகளை வழங்குகிறோம், எங்கள் வாடிக்கையாளர்களுக்கு அவர்களின் செயல்முறைகளைச் சரிபார்க்கத் தேவையான தரவு இருப்பதை உறுதிசெய்கிறோம்.
பிளாஸ்மா சுத்திகரிப்பு பரவலாக ஏற்றுக்கொள்ளப்படுவதற்கு முன்பு, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்கள் ஈரமான இரசாயன சுத்தம் செய்யும் முறைகளை முதன்மையாக நம்பியிருந்தனர். இந்த செயல்முறைகளில் செதில்களை ஒரு தொடர் இரசாயன குளியல்-பொதுவாக ஆக்ரோஷமான அமிலங்கள் மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்ற கலவைகளான "பிரன்ஹா" கரைசல் (சல்பூரிக் அமிலம் மற்றும் ஹைட்ரஜன் பெராக்சைடு) அல்லது RCA க்ளீன் (SC-1 மற்றும் SC-2) ஆகியவை அடங்கும். பல பயன்பாடுகளுக்கு பயனுள்ளதாக இருக்கும்போது, ஈரமான சுத்தம் என்பது உள்ளார்ந்த வரம்புகளைக் கொண்டுள்ளது, இது சாதனத்தின் பரிமாணங்கள் சுருங்கும்போது பெருகிய முறையில் சிக்கலாகிறது. தொழில்துறையானது மைக்ரான் அளவிலிருந்து துணை-100nm க்கு நகர்ந்ததால், ஈரமான சுத்தம் செய்வதற்கான வரம்புகள் முக்கியமானதாக மாறியது, மேலும் பிளாஸ்மா அடிப்படையிலான நுட்பங்கள் ஒரு சிறந்த மாற்றாக வெளிப்பட்டன.
ஒரு பெரிய குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் வசதியின் அனுபவத்தைக் கவனியுங்கள், அது அவர்களின் கம்பி-பிணைப்பு செயல்பாட்டில் மகசூல் இழப்புடன் போராடுகிறது. அசெம்பிளி லைன், பத்திரப் பட்டைகளைத் தயாரிக்க ஈரமான சுத்தம் செய்யும் படியைப் பயன்படுத்தியது, ஆனால் மகசூல் பிடிவாதமாக 95%க்குக் கீழே இருந்தது. குற்றவாளி நுண்ணிய மாசுபாடு: எஞ்சிய துப்புரவு இரசாயனங்கள் மற்றும் ஈரப்பதம் பிணைப்புத் திண்டு மேற்பரப்பில் சிக்கி, நம்பகமான தங்க கம்பி இணைப்பைத் தடுக்கிறது. செயல்முறையை மதிப்பீடு செய்த பிறகு, பொறியியல் குழு ஈரமான சுத்தம் செய்யும் படியை பிளாஸ்மா அடிப்படையிலான துப்புரவு செயல்முறையுடன் மாற்றியது. மகசூல் உடனடியாக 99.3% ஆக உயர்ந்தது, மேலும் பேக்கேஜிங் வரிசை மூன்று ஆண்டுகளுக்கும் மேலாக இந்த செயல்திறனைப் பராமரித்து வருகிறது. இது தனித்த கதையல்ல; இது தொழில்துறையில் ஒரு அடிப்படை மாற்றத்தை பிரதிபலிக்கிறது.
ஈரமான சுத்தம் செய்வதை விட பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்வதன் நன்மைகள் பல மற்றும் குறிப்பிடத்தக்கவை:
1. இரசாயன எச்சம் இல்லை.ஈரமான துப்புரவு இரசாயனங்களை சார்ந்துள்ளது, அவை கவனமாக துவைக்கப்பட வேண்டும். முழுமையடையாத கழுவுதல் எச்சங்களை விட்டுச்செல்கிறது, இது அடுத்தடுத்த செயல்முறைகளில் தலையிடலாம், இது ஒட்டுதல் தோல்விகள் மற்றும் அரிப்பை ஏற்படுத்துகிறது. பிளாஸ்மா சுத்திகரிப்பு என்பது ஒரு உலர் செயல்முறையாகும், இது ஆவியாகும் துணை தயாரிப்புகளை (வாயுக்கள்) மட்டுமே உற்பத்தி செய்கிறது, அவை எந்த எச்சத்தையும் விட்டுவிடாது.
2. இயந்திர சேதம் இல்லை.ஈரமான சுத்தம் செய்யும் போது தேவைப்படும் உடல் கிளர்ச்சியானது நுட்பமான கட்டமைப்புகள் இடிந்து விழும் அல்லது பிரிந்து போகலாம். MEMS சாதனங்களில் உள்ள உயர்-விகித அம்சங்களுக்கும் மேம்பட்ட பேக்கேஜிங்கில் உள்ள பாண்ட் பேட்கள் போன்ற பலவீனமான கட்டமைப்புகளுக்கும் இது மிகவும் முக்கியமானது. பிளாஸ்மா சுத்தம் இயந்திர சக்திகளை முற்றிலும் தவிர்க்கிறது.
3. ஐசோட்ரோபிக் துப்புரவு நடவடிக்கை.ஈரமான துப்புரவு திரவ இரசாயனங்களை சார்ந்துள்ளது, அவை மேற்பரப்பு அம்சங்களுக்கு உள்ளேயும் வெளியேயும் பாய வேண்டும். திரவங்களின் மேற்பரப்பு பதற்றம் குறுகிய அகழிகளின் அடிப்பகுதியை அடைவதைத் தடுக்கும். பிளாஸ்மாவில் உள்ள எதிர்வினை ரேடிக்கல்கள் வாயுவாக உள்ளன, அவை வடிவவியலைப் பொருட்படுத்தாமல் அனைத்து வெளிப்படும் மேற்பரப்புகளையும் ஊடுருவி சுத்தம் செய்ய அனுமதிக்கிறது.
4. குறைந்த செயல்முறை வெப்பநிலை.ஈரமான சுத்திகரிப்புக்கு தேவையான எதிர்வினை விகிதங்களை அடைய அதிக வெப்பநிலை தேவைப்படுகிறது, இது உணர்திறன் கொண்ட பொருட்களை அழுத்தி, வெப்ப விரிவாக்கம் பொருந்தாத தன்மையை ஏற்படுத்தும். சுற்றுப்புற வெப்பநிலையில் பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்யப்படுகிறது, சுத்தம் செய்யப்படும் பொருட்களின் ஒருமைப்பாட்டை பாதுகாக்கிறது.
5. அபாயகரமான கழிவுகள் இல்லை.ஈரமான சுத்திகரிப்புக்கான இரசாயன துணை தயாரிப்புகள் அபாயகரமான கழிவுகளாக கருதப்பட்டு அகற்றப்பட வேண்டும், இது குறிப்பிடத்தக்க சுற்றுச்சூழல் இணக்க செலவுகளை ஏற்படுத்துகிறது. பிளாஸ்மா சுத்திகரிப்பு வாயு துணை தயாரிப்புகளை மட்டுமே உருவாக்குகிறது, இது நிலையான குறைப்பு அமைப்புகளைப் பயன்படுத்தி ஸ்க்ரப் செய்யப்படலாம்.
6. நிலையான, மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய முடிவுகள்.சக்தி, அழுத்தம் மற்றும் வாயு ஓட்டம் போன்ற பிளாஸ்மா அளவுருக்களின் கட்டுப்பாடு மிகவும் துல்லியமானது. நன்கு வடிவமைக்கப்பட்டதுசெமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனர்ஒவ்வொரு தொகுதிக்கும் ஒரே மாதிரியான நிலைமைகளை உருவாக்குகிறது, ஈரமான சுத்தம் செய்வதை பாதிக்கும் தொகுதிக்கு தொகுதி மாறுபாட்டை நீக்குகிறது.
7. குறைக்கப்பட்ட செயல்முறை படிகள்.ஈரமான சுத்தம் செய்வதற்கு பொதுவாக பல செயல்முறை படிகள் தேவைப்படுகின்றன: சுத்தம் செய்தல், கழுவுதல் மற்றும் உலர்த்துதல் ஆகியவற்றில் மூழ்குதல். பிளாஸ்மா சுத்தம் என்பது ஒரு படி, எளிமையான செயல்பாடாகும். இது உபகரணங்கள் தடம், செயல்முறை நேரம் மற்றும் ஆபரேட்டர் கையாளுதல் ஆகியவற்றைக் குறைக்கிறது.
பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்வதற்கான தொழில்துறையின் நகர்வு ஒரு தொழில்நுட்ப விருப்பம் மட்டுமல்ல; இது ஒரு பொருளாதார மற்றும் தரமான தேவை. குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் தொடர்ந்து சுருங்கி வருவதால், பேக்கேஜிங் தொழில்நுட்பங்கள் தேவைப்படுவதால், உலர்ந்த, எச்சம் இல்லாத மற்றும் சேதமில்லாத துப்புரவு முறையின் தேவை அதிகரிக்கும். செமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனர் என்பது இந்த துல்லியமான தேவைகளை பூர்த்தி செய்யும் நிரூபிக்கப்பட்ட, முதிர்ந்த தொழில்நுட்பமாகும்.
பொறியாளர்களை மதிப்பிடும் அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகளில் ஒன்று aசெமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனர்உள்ளது: இந்த உபகரணங்கள் உண்மையில் எதை அகற்ற முடியும்? பதில் பிளாஸ்மா வகை மற்றும் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட செயல்முறை வாயுவைப் பொறுத்தது. பிளாஸ்மா சுத்திகரிப்பு மூன்று முதன்மை வகை மாசுபாட்டைக் கையாளலாம், ஒவ்வொன்றும் வெவ்வேறு அணுகுமுறை மற்றும் வேதியியல் தேவை. செயல்முறை மேம்பாடு மற்றும் உபகரணங்களைத் தேர்ந்தெடுப்பதற்கு இந்த வகைகளைப் புரிந்துகொள்வது அவசியம். எங்கள் தொழிற்சாலையானது பிளாஸ்மாவை சுத்தம் செய்யும் தீர்வுகளின் விரிவான வரம்பை உருவாக்கியுள்ளது, குறிப்பிட்ட மாசுபடுத்தும் வகைகளுக்கு உகந்த செயல்முறை செய்முறைகளுடன்.
வகை 1: கரிம மாசுபாடு.இந்த பிரிவில் ஒளிக்கடத்திச் செயலாக்கத்தின் போது அறிமுகப்படுத்தப்படும் ஒளிக்கதிர் எச்சங்கள், கைரேகைகள், எண்ணெய்கள், கிரீஸ்கள் மற்றும் பிற ஹைட்ரோகார்பன்கள் ஆகியவை அடங்கும். இந்த அசுத்தங்கள் பெரும்பாலும் மெல்லிய, கண்ணுக்குத் தெரியாத படங்களாக உள்ளன, அவை அடுத்தடுத்த படிவுகள் அல்லது பிணைப்பில் குறுக்கிடலாம். கரிம அகற்றலுக்கான நிலையான அணுகுமுறை ஆக்ஸிஜன் பிளாஸ்மா ஆகும். எதிர்வினை ஆக்ஸிஜன் தீவிரவாதிகள் கரிமப் பொருட்களில் உள்ள கார்பன் மற்றும் ஹைட்ரஜனுடன் வினைபுரிந்து, வெளியேற்றப்படும் ஆவியாகும் கார்பன் டை ஆக்சைடு மற்றும் நீராவியை உருவாக்குகிறது. பிளாஸ்மா குறைந்த வெப்பநிலையில் மிகவும் திறமையான, அழிவில்லாத "எரிப்பு" செயல்முறையாக செயல்படுகிறது. குறிப்பாக பிடிவாதமான கரிம எச்சங்களுக்கு, ஆர்கான் அல்லது ஹைட்ரஜனுடன் ஆக்ஸிஜனின் கலவையானது இரசாயன எதிர்வினையை மேம்படுத்த பயன்படுத்தப்படலாம்.
வகை 2: கனிம மாசுபாடு.இந்த வகை பூர்வீக ஆக்சைடுகள் (சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு, அலுமினியம் ஆக்சைடு), உலோக ஆக்சைடுகள் மற்றும் பிற கனிம எச்சங்கள் ஆகியவை அடங்கும். இந்த அசுத்தங்கள் பொதுவாக குறைக்கும் பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்தி அகற்றப்படுகின்றன. ஒரு பொதுவான அணுகுமுறை ஹைட்ரஜன்-ஆர்கான் பிளாஸ்மா ஆகும், அங்கு ஹைட்ரஜன் தீவிரவாதிகள் உலோக ஆக்சைடை மீண்டும் தூய உலோகமாக குறைக்கிறது, ஆக்சைடு அடுக்கை திறம்பட நீக்குகிறது. மாற்றாக, ஃவுளூரின் அடிப்படையிலான பிளாஸ்மா (CF4 அல்லது SF6 ஐப் பயன்படுத்தி) ஆக்சைடுகளை பொறிக்கப் பயன்படுத்தலாம், ஆனால் ஃவுளூரின் ஆக்ரோஷமானது மற்றும் அடிப்படைப் பொருளை சேதப்படுத்தும் என்பதால் இது எச்சரிக்கையுடன் செய்யப்பட வேண்டும். வாயு கலவையின் தேர்வு மற்றும் செயல்முறை அளவுருக்கள் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை மாற்றாமல் ஆக்சைடை அகற்ற கவனமாக அளவீடு செய்யப்பட வேண்டும். ஆக்சைடுகளுக்கு, பிளாஸ்மா ஆக்சைடை அதன் உலோக நிலைக்கு குறைக்கிறது, அடுக்கை அகற்றி, ஒட்டுதலுக்காக மேற்பரப்பை செயல்படுத்துகிறது.
வகை 3: துகள் மாசுபாடு.இந்த பிரிவில் நுண்ணிய தூசி துகள்கள், உலோக செதில்கள் மற்றும் மேற்பரப்பில் குடியேறும் பிற துகள்கள் அடங்கும். இவை அடுத்தடுத்த செயல்முறைகளில் குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தும் மற்றும் மின் கசிவுக்கான ஆதாரங்களாக இருக்கலாம். ஆர்கான் பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்தி உடல் சிதறல் மூலம் துகள்களை அகற்றுவது அடையப்படுகிறது. ஆர்கான் அயனிகள் துகள்களை அகற்ற போதுமான ஆற்றலுடன் மேற்பரப்பைத் தாக்குகின்றன, பின்னர் அவை வெற்றிட அமைப்பால் எடுத்துச் செல்லப்படுகின்றன. இது முற்றிலும் உடல் ரீதியான துப்புரவு செயல்முறை மற்றும் பல்வேறு அளவுகளின் துகள்களை அகற்றுவதில் பயனுள்ளதாக இருக்கும். இருப்பினும், மேற்பரப்பு அல்லது சாதனத்தின் அம்சங்களை சேதப்படுத்தாமல் இருக்க, அது பொருத்தமான ஆற்றலுடன் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும்.
பின்வரும் அட்டவணையானது மாசுபாட்டின் வகைகளை பொருத்தமான பிளாஸ்மா வேதியியலுக்கு மிகவும் விரிவான மேப்பிங்கை வழங்குகிறது.
| மாசுபடுத்தும் வகை | பொதுவான ஆதாரங்கள் | பிளாஸ்மா வேதியியல் | சுத்தம் செய்யும் பொறிமுறை |
| ஒளிக்கதிர் எச்சங்கள் | லித்தோகிராபி, பொறித்தல், அகற்றும் செயல்முறைகள் | ஆர்கான் உதவியுடன் ஆக்ஸிஜன் பிளாஸ்மா (O2). | இரசாயன ஆக்சிஜனேற்றம்: O* + CxHy → CO2 + H2O |
| நேட்டிவ் ஆக்சைடு (SiO2) | கையாளுதல் மற்றும் செயலாக்கத்தின் போது காற்றின் வெளிப்பாடு | ஹைட்ரஜன்-ஆர்கான் பிளாஸ்மா (H2/Ar) | வேதியியல் குறைப்பு: H* + SiO2 → Si + H2O |
| உலோக ஆக்சைடுகள் (Al2O3, CuO) | செயலாக்கத்தின் போது ஆக்ஸிஜனேற்றம், குறிப்பாக உயர்ந்த வெப்பநிலையில் | ஆர்கான் கேரியருடன் ஹைட்ரஜன் பிளாஸ்மா (H2). | இரசாயன குறைப்பு: H* + MO → M + H2O |
| கைரேகைகள், எண்ணெய்கள், கிரீஸ்கள் | ஆபரேட்டர்கள் மற்றும் சேமிப்பு மூலம் கையாளுதல் | ஃப்ளோரின் சுத்தமான ஆக்ஸிஜன் பிளாஸ்மா | இரசாயன ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் ஆவியாகும் |
| நுண்துகள்கள் (தூசி, உலோகத் தாக்கல்) | சுற்றுப்புற சூழல், உபகரணங்கள் உடைகள் | ஆர்கான் பிளாஸ்மாவை சிதறடிக்கிறது | உடல் குண்டுவீச்சு: Ar+ + துகள் → வெளியேற்றம் |
| ஃப்ளோரோகார்பன் எச்சங்கள் | CF4 அல்லது SF6 வாயுக்கள் கொண்ட பிளாஸ்மா பொறித்தல் | Ar உடன் ஆக்ஸிஜன் பிளாஸ்மா | ஃப்ளோரோகார்பன் படத்தின் இரசாயன ஆக்சிஜனேற்றம் |
எங்கள் தொழிற்சாலை ஒரு விரிவான செயல்முறை மேம்பாட்டு சேவையை வழங்குகிறது, வாடிக்கையாளர்களுக்கு அவர்களின் குறிப்பிட்ட மாசுபாடு சவால்களுக்கு அவர்களின் பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்முறையை மேம்படுத்த உதவுகிறது. நூற்றுக்கணக்கான அடி மூலக்கூறுகள் மற்றும் அசுத்தங்களுக்கான நிறுவப்பட்ட செயல்முறைகளின் தரவுத்தளத்தை நாங்கள் பராமரிக்கிறோம், மேலும் எங்கள் தொழில்நுட்பக் குழு தனித்துவமான பயன்பாடுகளுக்கான தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சமையல் குறிப்புகளை வடிவமைக்க முடியும். இது உங்கள் செமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனர் உங்கள் குறிப்பிட்ட உற்பத்தித் தேவைகளுக்கு உகந்த செயல்திறனை வழங்குவதை உறுதி செய்கிறது.
செமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா சுத்தம் செதில் புனையலுக்கு இன்றியமையாததாக இருந்தாலும், பேக்கேஜிங் கட்டத்தில் அதன் தாக்கம் இன்னும் ஆழமானது. பேக்கேஜிங்-செமிகண்டக்டர் டையை வெளி உலகத்துடன் இணைக்கும் மற்றும் இயந்திர மற்றும் சுற்றுச்சூழல் பாதுகாப்பை வழங்கும் செயல்முறை-ஒரு முக்கியமான படிநிலைகளை உள்ளடக்கியது: டை அட்டாச்மென்ட், கம்பி பிணைப்பு, இணைத்தல் மற்றும் ஈயம் உருவாக்கம். இந்த படிகள் ஒவ்வொன்றிற்கும் வலுவான, நம்பகமான இணைப்புகளை உறுதிப்படுத்த சுத்தமான, வேதியியல் ரீதியாக செயல்படும் மேற்பரப்புகள் தேவை. பேக்கேஜிங் கட்டத்தில் உள்ள அசுத்தங்கள் மகசூல் இழப்பு மற்றும் வயல் தோல்விகளுக்கு முக்கிய ஆதாரமாக உள்ளன, மேலும் பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்வது அவற்றை அகற்ற மிகவும் பயனுள்ள முறையாக நிரூபிக்கப்பட்டுள்ளது.
பேக்கேஜிங் விளைச்சலில் பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்வதன் தாக்கத்தைப் புரிந்து கொள்ள, கம்பி பிணைப்பு செயல்முறையைக் கவனியுங்கள். வயர் பிணைப்பு என்பது ஒரு முதிர்ந்த தொழில்நுட்பமாகும், ஆனால் இது டை மற்றும் லீட் ஃப்ரேம் இடையே மின் இணைப்புகளை உருவாக்குவதற்கான மேலாதிக்க முறையாக உள்ளது. இந்த செயல்முறை மீயொலி ஆற்றல், வெப்பம் மற்றும் அழுத்தம் ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்தி ஒரு தங்கம் அல்லது செப்பு கம்பி மற்றும் டையில் உள்ள பிணைப்புத் திண்டுக்கு இடையில் ஒரு பற்றவைப்பை உருவாக்குகிறது. நம்பகமான பிணைப்பை உருவாக்க, பிணைப்புத் திண்டு மேற்பரப்பு கரிம மாசு, ஆக்சைடுகள் மற்றும் துகள்கள் இல்லாமல் இருக்க வேண்டும். இந்த அசுத்தங்கள் ஒரு தடையாக செயல்படுகின்றன, வலுவான பற்றவைப்புக்கு தேவையான நெருக்கமான உலோக-உலோக தொடர்பைத் தடுக்கிறது. இதன் விளைவாக ஒரு பலவீனமான பிணைப்பு உள்ளது, இது அடுத்தடுத்த செயலாக்கத்தின் போது அல்லது தயாரிப்பின் வாழ்நாளில் தோல்வியடையும்.
ஒரு பொதுவான செமிகண்டக்டர் அசெம்பிளி லைனில், டைசிங் ரம், ஸ்டோரேஜ் அல்லது ஹேண்ட்லிங் ஆகியவற்றிலிருந்து எச்சங்களால் மாசுபடுத்தப்பட்ட பாண்ட் பேட் பரப்புகளில் ஒரு தொகுதி டை இருக்கலாம். ஆரம்ப வயர் பத்திர விளைச்சல் 95% ஆக இருக்கலாம், அதாவது 5% பத்திரங்கள் பலவீனமானவை அல்லது ஒட்டாதவை. இது நேரடியாக ஸ்க்ராப் என்று மொழிபெயர்க்கிறது: ஒவ்வொரு பலவீனமான பிணைப்புக்கும் மறுவேலை தேவைப்படுகிறது அல்லது ஸ்கிராப்புட் டையில் விளைகிறது. கம்பி பிணைப்புக்கு முன் உடனடியாகப் பயன்படுத்தப்படும் பிளாஸ்மாவை சுத்தம் செய்யும் படியின் விளைவை இப்போது கற்பனை செய்து பாருங்கள். பிளாஸ்மா கரிம எச்சங்களை நீக்குகிறது, பூர்வீக ஆக்சைடைக் குறைக்கிறது, மேலும் வேதியியல் ரீதியாக பிணைப்புத் திண்டு மேற்பரப்பைச் செயல்படுத்துகிறது, இது பிணைப்புக்கு மிகவும் ஏற்றது. பிளாஸ்மா-சுத்தப்படுத்தப்பட்ட தொகுப்பின் மகசூல் 99.5% ஆக அதிகரிக்கிறது, இது பத்திர தோல்வி விகிதத்தை 90% குறைக்கிறது. இது ஒரு கோட்பாட்டு கணக்கீடு அல்ல; இது பல பேக்கேஜிங் வரிகளால் அடையப்பட்ட நிஜ உலக முடிவு.
பிளாஸ்மா சுத்திகரிப்பிலிருந்து குறிப்பிடத்தக்க வகையில் பயனடையும் பிற பேக்கேஜிங் செயல்முறைகள் பின்வருமாறு:
பேக்கேஜிங் விளைச்சலில் பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்யும் தாக்கத்தை அளவிட முடியும். செயல்முறை ஓட்டத்தில் பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்யும் படியை அறிமுகப்படுத்திய பிறகு பேக்கேஜிங் வரிகளில் காணப்பட்ட வழக்கமான மேம்பாடுகளை பின்வரும் அட்டவணை காட்டுகிறது.
| பேக்கேஜிங் செயல்முறை | பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்வதற்கு முன் மகசூல் | பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்த பிறகு மகசூல் | மகசூல் மேம்பாடு |
| கம்பி பிணைப்பு (தங்க பந்து பிணைப்பு) | 94-96% | 99-99.5% | 3-5% |
| டை அட்டாச் (பிசின் பிணைப்பு) | 92-94% | 98.5-99.5% | 4-6% |
| அண்டர்ஃபில் (வெற்றிடமில்லாத ஓட்டம்) | 88-92% | 97-98.5% | 6-8% |
| மோல்டிங் (ஒட்டுதல்) | 90-93% | 97-98% | 4-6% |
எங்களின் செமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனர் சிஸ்டம்கள் பேக்கேஜிங் பயன்பாடுகளை மனதில் கொண்டு வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, சரிசெய்யக்கூடிய மின்முனை இடைவெளி, தொகுதி செயலாக்க திறன்கள் மற்றும் தானியங்கு கையாளுதல் அமைப்புகளுடன் ஒருங்கிணைப்பு போன்ற அம்சங்களை வழங்குகிறது. செமிகண்டக்டர் பேக்கேஜிங்கின் அதிக அளவு சூழலில், நம்பகத்தன்மை மற்றும் மறுநிகழ்வு ஆகியவை பேச்சுவார்த்தைக்குட்பட்டவை அல்ல என்பதை நாங்கள் புரிந்துகொள்கிறோம். மகசூலை அதிகரிக்கவும் கழிவுகளை குறைக்கவும் தேவையான நிலையான செயல்திறனை எங்கள் உபகரணங்கள் வழங்குகிறது.
பொருத்தமானதைத் தேர்ந்தெடுப்பதுசெமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனர்ஒரு குறிப்பிட்ட பயன்பாட்டிற்கு, தொழில்நுட்பத் தேவைகள் மற்றும் செயல்பாட்டுக் கட்டுப்பாடுகளின் கட்டமைக்கப்பட்ட மதிப்பீடு தேவைப்படும் முக்கியமான முடிவாகும். துப்புரவு செயல்திறன், செயல்திறன், செலவு மற்றும் ஏற்கனவே உள்ள செயல்முறைகளுடன் இணக்கத்தன்மை போன்ற சமநிலை காரணிகளை தேர்வு உள்ளடக்கியது. செமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனர் என்பது குறிப்பிடத்தக்க மூலதன முதலீடு ஆகும், மேலும் தவறான அமைப்பைத் தேர்ந்தெடுப்பது துணை செயல்திறன் மற்றும் வீணான செலவுகளுக்கு வழிவகுக்கும். வாடிக்கையாளர்களுக்கு இந்த செயல்முறையை வழிநடத்தவும், அவர்களின் தேவைகளுக்கு உகந்த முறையில் பொருந்தக்கூடிய அமைப்பைத் தேர்ந்தெடுக்கவும் எங்கள் தொழிற்சாலை ஒரு கட்டமைக்கப்பட்ட தேர்வு கட்டமைப்பை உருவாக்கியுள்ளது.
படி 1: அகற்றப்பட வேண்டிய மாசுபாட்டை வரையறுக்கவும்.அகற்றப்பட வேண்டிய மாசுபாட்டின் வகையை அடையாளம் காண்பது முதல் படி. இது ஆர்கானிக் (ஃபோட்டோரெசிஸ்ட், எண்ணெய்), கனிம (ஆக்சைடு) அல்லது துகள்களா? வெவ்வேறு அசுத்தங்களுக்கு வெவ்வேறு பிளாஸ்மா வேதியியல் மற்றும் செயல்முறை நிலைமைகள் தேவை. எடுத்துக்காட்டாக, ஒரு ஆக்ஸிஜன் பிளாஸ்மா கரிம அகற்றலுக்கு பயனுள்ளதாக இருக்கும், அதே நேரத்தில் ஆக்சைடு அகற்றுவதற்கு ஹைட்ரஜன் பிளாஸ்மா தேவைப்படுகிறது. செமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனரின் தேர்வு தேவையான வாயு வேதியியலை ஆதரிக்க வேண்டும்.
படி 2: அடி மூலக்கூறை வகைப்படுத்தவும்.அடி மூலக்கூறு பொருள் மற்றும் வடிவியல் முக்கியமான தேர்வு காரணிகள். பொருள் என்ன? இது சிலிக்கான், காலியம் ஆர்சனைடு அல்லது பீங்கான் தானா? பொருள் சில பிளாஸ்மா நிலைமைகளுக்கு உணர்திறன் இருக்கலாம். எடுத்துக்காட்டாக, சில பொருட்கள் அயனி குண்டுவீச்சு சேதத்திற்கு ஆளாகின்றன மற்றும் ஒரு "மென்மையான" பிளாஸ்மா (கீழ்நிலை பிளாஸ்மா கட்டமைப்பு) தேவைப்படுகிறது. வடிவவியலும் முக்கியமானது: அடி மூலக்கூறு உடல் குண்டுவீச்சினால் சேதமடையக்கூடிய உடையக்கூடிய கட்டமைப்புகளைக் கொண்டிருக்கிறதா? ஐசோட்ரோபிக் சுத்தம் தேவைப்படும் உயர்-விகித அம்சங்களைக் கொண்டிருக்கிறதா? இந்த கேள்விகளுக்கான பதில்கள் தேவையான மின்முனை கட்டமைப்பு மற்றும் சக்தி அடர்த்தியை தீர்மானிக்கும்.
படி 3: செயல்திறன் தேவைகளை மதிப்பிடவும்.ஒரு மணி நேரத்திற்கு எத்தனை அடி மூலக்கூறுகளை சுத்தம் செய்ய வேண்டும்? இது தேவையான அறை அளவு மற்றும் தொகுதி அல்லது இன்லைன் உள்ளமைவை தீர்மானிக்கிறது. அதிக அளவு உற்பத்திக்கு, அடி மூலக்கூறுகளின் தொகுதிக்கு இடமளிக்கக்கூடிய ஒரு பெரிய அறை விரும்பப்படுகிறது. ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டிற்கு, விரைவான திருப்பத்துடன் கூடிய சிறிய அறை மிகவும் பொருத்தமானது. செமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனரின் சுழற்சி நேரம் (பம்ப்-டவுன், ப்ராசஸ் மற்றும் வென்டிங் உட்பட) ஒட்டுமொத்த உற்பத்தி நேரத்துடன் பொருந்த வேண்டும்.
படி 4: க்ளீன்ரூம் சூழலை மதிப்பிடுங்கள்.குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சூழல் மிகவும் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது. செமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனர், தூய்மை வகுப்பு, காற்றோட்டம் மற்றும் மின்காந்த இணக்கத்தன்மை உள்ளிட்ட தூய்மையான அறை விவரக்குறிப்புகளுக்கு இணங்க வேண்டும். உபகரணங்களின் தடம் மற்றும் கிடைக்கக்கூடிய தளம் ஆகியவற்றைக் கருத்தில் கொள்ள வேண்டும்.
படி 5: எரிவாயு வழங்கல் மற்றும் குறைப்பு மதிப்பீடு.செமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனருக்கு உயர்-தூய்மை செயல்முறை வாயுக்கள் மற்றும் வெளியேற்ற வாயுக்களை குறைக்க (பாதுகாப்பான சிகிச்சை) ஒரு வழி தேவைப்படுகிறது. எரிவாயு விநியோக அமைப்பு தேவையான வாயுக்களை சரியான ஓட்ட விகிதம் மற்றும் தூய்மையில் வழங்கக்கூடியதாக இருக்க வேண்டும். பிளாஸ்மா துப்புரவு செயல்முறையால் (எ.கா. ஆவியாகும் கரிம சேர்மங்கள், புளோரின் சேர்மங்கள்) உருவாக்கப்படும் குறிப்பிட்ட துணை தயாரிப்புகளைக் கையாளும் வகையில் குறைப்பு அமைப்பு வடிவமைக்கப்பட வேண்டும்.
படி 6: ஆட்டோமேஷன் மற்றும் ஒருங்கிணைப்பைக் கவனியுங்கள்.நவீன செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி வசதியில், செமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனர் அரிதாகவே தனித்து நிற்கும் கருவியாகும். இது பொதுவாக ஒரு தானியங்கி உற்பத்தி வரிசையில் ஒருங்கிணைக்கப்படுகிறது. பொதுவாக SECS/GEM நெறிமுறை (SEMI எக்யூப்மென்ட் கம்யூனிகேஷன்ஸ் ஸ்டாண்டர்ட்/ஜெனரிக் எக்யூப்மென்ட் மாடல்) மூலம் தொழிற்சாலையின் ஆட்டோமேஷன் மற்றும் கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகளுடன் தொடர்பு கொள்ளும் திறன் கொண்டதாக இருக்க வேண்டும்.
பின்வரும் அட்டவணை முக்கிய முடிவு காரணிகள் மற்றும் தேர்வு செயல்முறையின் ஒவ்வொரு கட்டத்திலும் பதிலளிக்க வேண்டிய கேள்விகளை சுருக்கமாகக் கூறுகிறது.
| தேர்வு காரணி | கேட்க வேண்டிய கேள்விகள் |
| மாசுபடுத்தும் வகை | என்ன பொருட்கள் அகற்றப்பட வேண்டும்? (கரிம, ஆக்சைடு, துகள்கள்?) |
| அடி மூலக்கூறு பண்புகள் | பொருள் என்ன? இது உடையக்கூடியதா? இதில் உயர்-விகித அம்சங்கள் உள்ளதா? |
| செயல்திறன் தேவை | ஒரு மணி நேரத்திற்கு எத்தனை அடி மூலக்கூறுகள் செயலாக்கப்பட வேண்டும்? |
| சுத்தமான அறை சூழல் | கிளீன்ரூம் வகுப்பு என்றால் என்ன? கிடைக்கும் தளம் என்ன? |
| எரிவாயு வழங்கல் மற்றும் குறைப்பு | என்ன செயல்முறை வாயுக்கள் தேவை? வெளியேற்ற வாயுக்கள் எவ்வாறு குறைக்கப்படும்? |
| ஆட்டோமேஷன் மற்றும் ஒருங்கிணைப்பு | தொழிற்சாலை ஆட்டோமேஷனுடன் (SECS/GEM) கணினி ஒருங்கிணைக்க வேண்டுமா? |
எங்கள் தொழிற்சாலையின் தொழில்நுட்பக் குழுவானது தேர்வு செயல்முறைக்கு உதவவும், விரிவான தொழில்நுட்பத் தரவு, செயல்முறை விளக்கம் மற்றும் செலவு-பயன் பகுப்பாய்வு ஆகியவற்றை வழங்கவும் உள்ளது. ஒவ்வொரு பயன்பாடும் தனித்துவமானது என்பதை நாங்கள் புரிந்துகொள்கிறோம், மேலும் எங்கள் வாடிக்கையாளர்களுக்கு அவர்களின் குறிப்பிட்ட தேவைகளுக்கு மிகவும் பயனுள்ள மற்றும் திறமையான துப்புரவுத் தீர்வை வழங்கும் செமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனரைத் தேர்ந்தெடுக்க உதவுவதற்கு நாங்கள் கடமைப்பட்டுள்ளோம்.
கேள்வி 1: பிளாஸ்மாவை சுத்தம் செய்வது எனது குறைக்கடத்தி செதில்கள் அல்லது சாதனங்களின் மேற்பரப்பை சேதப்படுத்துமா?
பதில்: சரியான செயல்முறை அளவுருக்கள் மூலம் இயக்கப்படும் போது, பிளாஸ்மா சுத்தம் ஒரு மென்மையான, அல்லாத அழிவு செயல்முறை ஆகும். முக்கிய காரணிகள் RF சக்தி நிலை, செயல்முறை அழுத்தம் மற்றும் செயல்முறை வாயு தேர்வு. நேரடி பிளாஸ்மா (கொள்ளளவு இணைக்கப்பட்ட) அமைப்புகள் அதிக அயனி ஆற்றலுடன் பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகின்றன, இது ஆக்கிரமிப்பு சுத்தம் அல்லது மேற்பரப்பை செயல்படுத்த பயன்படுகிறது. உணர்திறன் வாய்ந்த பொருட்களுக்கு, அயனி குண்டுவீச்சு சேதத்தைத் தவிர்க்க கீழ்நிலை பிளாஸ்மா அமைப்பு (பிளாஸ்மா தொலைவிலிருந்து உருவாக்கப்படும் மற்றும் நடுநிலை தீவிரவாதிகள் செதில்களுக்கு கொண்டு செல்லப்படும்) பயன்படுத்தப்படலாம். உங்கள் பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்யும் செய்முறையானது அடி மூலக்கூறை சேதப்படுத்தாமல் இருப்பதை உறுதிசெய்ய, விரிவான செயல்முறை மேம்பாட்டு சேவையை நாங்கள் வழங்குகிறோம்.
கேள்வி 2: ஆக்ஸிஜன் பிளாஸ்மாவிற்கும் ஆர்கான் பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்வதற்கும் என்ன வித்தியாசம்?
பதில்: ஆக்ஸிஜன் பிளாஸ்மா சுத்தம் முதன்மையாக இரசாயன எதிர்வினைகளை சார்ந்துள்ளது. எதிர்வினை ஆக்ஸிஜன் தீவிரவாதிகள் கரிம அசுத்தங்களை ஆக்சிஜனேற்றம் செய்து, அவற்றை ஆவியாகும் கார்பன் டை ஆக்சைடு மற்றும் நீராவியாக மாற்றுகிறது. ஆர்கான் பிளாஸ்மாவை சுத்தம் செய்வது முதன்மையாக ஒரு இயற்பியல் செயல்முறையாகும்: ஆர்கான் அயனிகள் உடல் ரீதியாக மேற்பரப்பைத் தாக்கி, துகள்களை அகற்றி, மெல்லிய அடுக்குகளை உடல் ரீதியாக சிதறடிக்கும். ஆக்ஸிஜன் பிளாஸ்மா கரிம எச்சங்களை அகற்றுவதற்கு ஏற்றது, அதே நேரத்தில் ஆர்கான் பிளாஸ்மா மேற்பரப்பு செயல்படுத்துவதற்கும் வேதியியல் ரீதியாக பிணைக்கப்படாத துகள்களை அகற்றுவதற்கும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. பல பிளாஸ்மா சுத்திகரிப்பு செயல்முறைகள் ஆக்ஸிஜன் மற்றும் ஆர்கானின் கலவையைப் பயன்படுத்தி இரசாயன மற்றும் உடல் துப்புரவு நடவடிக்கையை இணைக்கின்றன.
கேள்வி 3: செமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனருக்கான வழக்கமான செயல்முறை சுழற்சி நேரம் என்ன?
பதில்: ஒரு வழக்கமான பிளாஸ்மா சுத்திகரிப்பு செயல்முறைக்கான சுழற்சி நேரம் 5 முதல் 20 நிமிடங்கள் ஆகும். இதில் பம்ப்-டவுன் நேரம் (வெற்றிடத்தை அடைவதற்கு), செயல்முறை நேரம் (பிளாஸ்மாவை சுத்தம் செய்யும் படி) மற்றும் காற்றோட்ட நேரம் (அறையை வளிமண்டல அழுத்தத்திற்கு திருப்பி அனுப்புதல்) ஆகியவை அடங்கும். உண்மையான சுழற்சி நேரம் அறையின் அளவு, வெற்றிட பம்ப் வேகம் மற்றும் தேவையான சுத்தம் செய்யும் நேரம் ஆகியவற்றைப் பொறுத்தது. எங்கள் தொழிற்சாலையின் செமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா க்ளீனர் சிஸ்டம்கள் விரைவான பம்ப்-டவுன் மற்றும் திறமையான செயலாக்கத்திற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, நிலையான தொகுதி பயன்பாடுகளுக்கு வழக்கமான சுழற்சி நேரங்கள் 8-12 நிமிடங்கள் ஆகும்.
கேள்வி 4: அசெம்பிள் செய்யப்பட்ட சாதனங்கள் மற்றும் பேக்கேஜ்களை சுத்தம் செய்ய செமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனரைப் பயன்படுத்தலாமா?
பதில்: ஆம், கூடியிருந்த சாதனங்கள் மற்றும் தொகுப்புகளை சுத்தம் செய்வதற்கு பிளாஸ்மா சுத்தம் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. அசுத்தங்களை அகற்றுவதற்கும் ஒட்டுதலை மேம்படுத்துவதற்கும் இது பெரும்பாலும் மோல்டிங் அல்லது கேப்சுலேஷனுக்கு முன் செய்யப்படுகிறது. பிளாஸ்மா சிகிச்சையானது, மென்மையான பாகங்களுக்கு சேதம் விளைவிக்காமல், டை, கம்பி பிணைப்புகள் மற்றும் ஈயச் சட்டங்கள் உட்பட முழு அசெம்பிளியின் மேற்பரப்புகளையும் திறம்பட சுத்தம் செய்ய முடியும். கூடியிருந்த சாதனத்தின் செயல்திறனில் எந்தத் தாக்கத்தையும் தவிர்க்க சரியான செயல்முறை அளவுருக்களைத் தேர்ந்தெடுக்க கவனமாக இருக்க வேண்டும்.
கேள்வி 5: பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்வதற்கான பொதுவான RF அதிர்வெண் 13.56 MHz ஏன்?
பதில்: 13.56 மெகா ஹெர்ட்ஸ் அதிர்வெண் என்பது சர்வதேச அளவில் அங்கீகரிக்கப்பட்ட தொழில்துறை, அறிவியல் மற்றும் மருத்துவ (ஐஎஸ்எம்) அலைவரிசை. இதன் பொருள், இந்த அதிர்வெண்ணில் செயல்படும் உபகரணங்கள் உரிமம் பெற வேண்டிய அவசியமில்லை மற்றும் ரேடியோ தகவல்தொடர்புகளில் தலையிடாது. இந்த ஒதுக்கீடு 13.56 மெகா ஹெர்ட்ஸ் பிளாஸ்மா செயலாக்க கருவிகளுக்கான நடைமுறை தரநிலையாக உள்ளது. 2.45 GHz (மைக்ரோவேவ்) போன்ற பிற ISM அலைவரிசைகளும் சிறப்பு பிளாஸ்மா பயன்பாடுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, ஆனால் 13.56 MHz என்பது மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் தரநிலையாகும்.
ஷென்சென் CKD டெக்னாலஜி கோ., லிமிடெட்.,2010 இல் நிறுவப்பட்டது மற்றும் சீனாவின் தொழில்நுட்ப கண்டுபிடிப்பு மையத்தின் மையத்தில் தலைமையிடமாக உள்ளது, மேம்பட்ட செமிகண்டக்டர் இன்ஸ்பெக்ஷன் உபகரணங்கள் உட்பட, உயர்நிலை துல்லியமான விநியோகம் மற்றும் குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் உபகரணங்களின் முதன்மையான சப்ளையர் ஆகும். பல பிராண்டுகள் மற்றும் மாடல்களை உள்ளடக்கிய ஒரு விரிவான சரக்கு மற்றும் அனைத்து வகையான துணைக்கருவிகளின் ஏராளமான கையிருப்புடன், எங்கள் வாடிக்கையாளர்களுக்கு நிலையான, நம்பகமான மற்றும் தொடர்ச்சியான உற்பத்தியை உறுதிசெய்கிறோம். எங்கள் தொழில்முறை பொறியாளர்கள் குழு ஆயத்த தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்குகிறது, மேலும் சிங்கப்பூர், மலேசியா, வியட்நாம் மற்றும் தாய்லாந்தில் எங்கள் உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட ஆதரவு உங்கள் உற்பத்திக்கான தொழில்நுட்ப மற்றும் தர உத்தரவாதம் உங்களுக்கு எப்போதும் இருக்கும் என்று உத்தரவாதம் அளிக்கிறது. "துல்லியம், ஸ்திரத்தன்மை மற்றும் செயல்திறன்" ஆகியவற்றின் முக்கிய மதிப்புகளால் வழிநடத்தப்பட்ட CKD, உலகளாவிய நூற்றுக்கணக்கான நிறுவனங்களுக்கு அறிவார்ந்த உற்பத்தி மேம்படுத்தல்களை வழங்கியுள்ளது, பரவலான அங்கீகாரத்தையும் தொழில்துறையில் உறுதியான நற்பெயரையும் வென்றுள்ளது.
திசெமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனர்நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் பேக்கேஜிங்கின் முக்கிய அங்கமாகும். பிளாஸ்மாவின் தனித்துவமான பண்புகளைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் - பொருளின் நான்காவது நிலை - இது கரிம மாசுபாட்டை அகற்றுவதற்கும், சொந்த ஆக்சைடுகளைக் குறைப்பதற்கும் மற்றும் மேற்பரப்புகளை சுத்தம் செய்வதற்கும் உலர்ந்த, எச்சம் இல்லாத மற்றும் சேதமில்லாத முறையை வழங்குகிறது. தொழில்நுட்பமானது துல்லியமான பொறியியலின் அடித்தளத்தில் கட்டமைக்கப்பட்டுள்ளது: வெற்றிட அறை, RF மின்சாரம், எரிவாயு விநியோக அமைப்பு மற்றும் கட்டுப்பாட்டு மின்னணுவியல் ஆகியவை கட்டுப்படுத்தப்பட்ட பிளாஸ்மா சூழலை உருவாக்க ஒன்றிணைந்து செயல்படுகின்றன. நாங்கள் ஆராய்ந்தது போல, முக்கிய தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்-அடிப்படை அழுத்தம், RF சக்தி, வாயு ஓட்டம் கட்டுப்பாடு- நேரடியாக கணினியின் செயல்திறன் மற்றும் துப்புரவு திறன்களை வரையறுக்கிறது. செமிகண்டக்டர் பிளாஸ்மா கிளீனர் என்பது வெறும் உபகரணங்களின் ஒரு பகுதி அல்ல; அதிக மகசூல் தரக்கூடிய குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, MEMS புனையமைப்பு மற்றும் மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் ஆகியவற்றிற்கு இது இன்றியமையாததாக உள்ளது, இது மேற்பரப்பின் தூய்மையை வழங்குகிறது.
உங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் தேவைகளை CKD எவ்வாறு ஆதரிக்கிறது என்பதைப் பற்றி மேலும் அறிய உங்களை அழைக்கிறோம். அனுபவம் வாய்ந்த பொறியாளர்கள் குழு உங்கள் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பற்றி விவாதிக்கவும், எங்களின் செமிகண்டக்டர் ஆய்வுக் கருவிகள் உங்கள் உற்பத்தி வரிசையில் எவ்வாறு தடையின்றி ஒருங்கிணைக்க முடியும் என்பதை நிரூபிக்கவும் தயாராக உள்ளது. இலவச ஆலோசனைக்கு அல்லது எங்கள் வசதியில் ஒரு ஆர்ப்பாட்டத்தைத் திட்டமிட எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும். ஷென்சென் CKD டெக்னாலஜி கோ., லிமிடெட்.ஐ இன்று தொடர்பு கொள்ளவும்செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி மற்றும் ஆய்வு தீர்வுகளின் எங்கள் விரிவான வரம்பைக் கண்டறிய.
