ஷென்சென் CKD டெக்னாலஜி கோ., லிமிடெட்.
ஷென்சென் CKD டெக்னாலஜி கோ., லிமிடெட்.
தயாரிப்புகள்
தயாரிப்புகள்
MYW10
  • MYW10MYW10

MYW10

MYS தொடர் - MYW10 பிளாஸ்மா சிஸ்டம்
மிகவும் நெகிழ்வான, உயர்-செயல்திறன் செதில் மேற்பரப்பு சிகிச்சை செயல்முறைகளை செயல்படுத்துகிறது
எலக்ட்ரானிக்ஸ் அசெம்பிளி மற்றும் செமிகண்டக்டர் சந்தைகளின் விரைவான வளர்ச்சியுடன், உற்பத்தி திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மைக்கான தொழில் தேவைகள் தொடர்ந்து அதிகரித்து வருகின்றன. பாரம்பரிய வெற்றிட-அடிப்படையிலான பிளாஸ்மா செயலாக்கத்துடன் தொடர்புடைய காத்திருப்பு நேரத்தை நீக்குவதன் மூலம், MYS தொடர் துப்புரவு கருவிகள் குறிப்பிடத்தக்க அளவு அதிக செயல்திறன் மற்றும் மேம்பட்ட ஒட்டுமொத்த விளைச்சலை வழங்குகிறது, அதே நேரத்தில் அனைத்து உணர்திறன் மின்னணு கூறுகளின் பாதுகாப்பான கையாளுதலை உறுதி செய்கிறது.

சிகேடி தொழில்நுட்பம் புத்தம் புதிய இயந்திரங்களை கையிருப்பில் வைத்திருப்பது மட்டுமல்லாமல், உடனடியாகக் கிடைக்கிறது.

எங்களிடம் விரிவான வாடகை வணிகமும் உள்ளது, உங்கள் ஆரம்ப முதலீட்டைக் கணிசமாகக் குறைக்கும் அதே வேளையில், உங்களின் குறிப்பிட்ட உற்பத்தித் தேவையைப் பூர்த்தி செய்யத் தயாராக உள்ளது. மேலும் விவரங்களுக்கு எங்களைத் தொடர்பு கொள்ளவும்.

CKD ஆனது தொழில்முறை பொறியாளர்களின் குழுவைக் கொண்டுள்ளது, டர்ன் கீ சேவையை வழங்கத் தயாராக உள்ளது.

பயன்படுத்திய இயந்திரங்களை வர்த்தகம் செய்ய, Whatspp அல்லது மின்னஞ்சல் வழியாக எங்களை தொடர்பு கொள்ளவும்.

-------------------------------------------------------------------------


தயாரிப்பு அம்சங்கள்

MYW10 பிளாஸ்மா அமைப்பு மிகவும் நெகிழ்வான, உயர்-செயல்திறன் செதில் மேற்பரப்பு சிகிச்சை செயல்முறையை வழங்குகிறது.

• வளிமண்டல அழுத்தம் ஆர்கான் பிளாஸ்மா அமைப்பு

• 100mm-அகல இன்லைன் பிளாஸ்மா தொகுதி செயலாக்கம்; பாரம்பரிய முறைகளுடன் ஒப்பிடும்போது 2-5 மடங்கு அதிக செயல்திறன் மற்றும் 30% குறைவான இயக்க செலவுகளை வழங்குகிறது

• 100% நடுநிலை பிளாஸ்மா; பிளாஸ்மா குண்டுவீச்சு, நிலையான மின்சாரம், தீப்பொறிகள், வளைவுகள், தூசி, அதிக வெப்பம், மேற்பரப்பு சிற்றலைகள், அல்லது புற ஊதா கதிர்வீச்சு போன்ற உணர்திறன் எலக்ட்ரானிக் கூறுகளின் மீது பாதுகாப்பான மற்றும் மென்மையானது.

• பல்துறை வேதியியல் செயல்முறைகள்: கரிம அசுத்தங்களை அகற்றுவதற்கான O2 செயல்முறை; உலோக ஆக்சைடுகளை அகற்றுவதற்கும் தயாரிப்பு மேற்பரப்புகளை செயல்படுத்துவதற்கும் H2 செயல்முறை

• துகள் மாசுபடுதல் அல்லது செதில் மீது மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையில் மாற்றங்கள் ஏற்படாது

• வேஃபர் மற்றும் டேப் பிரேம் தயாரிப்பு இரண்டிற்கும் இணக்கமானது, இரண்டிற்கும் இடையே விரைவாக மாற அனுமதிக்கிறது

• 10 ஆம் வகுப்பு தூய்மை அறை மற்றும் SEMI தரநிலைகளை சந்திக்கிறது

MYW10

விவரக்குறிப்புகள்

அடிப்படை அளவுருக்கள் MYW10
சக்தி தேவைகள் AC 380V, 13kW, 20A, 50/60Hz
காற்று அழுத்தம் தேவைகள் 90psi (6bar)
பரிமாணங்கள் 2000 x 2800 x 2200 மிமீ
எடை 2200 கிலோ
சான்றிதழ் தரநிலைகள் SEMI S2/S6/S8
நிலைப்படுத்தல் துல்லியம் XY: ±20 µm @ 3σ; Z: ±10 µm @ 3σ
XYZ-Axis Repeatability XY: ±10 µm @ 3σ; Z: ±5 µm @ 3σ
அதிகபட்ச வேகம் 1000 மிமீ/வி (XY)
முடுக்கம் 1.0 கிராம்
இயக்கி அமைப்பு ஏசி சர்வோ
வேலை தள விவரக்குறிப்புகள்
ஏற்றுதல்/இறக்கும் முறை OHT + லோட் போர்ட் + ரோபோடிக் ஆர்ம்
ரோபோடிக் ஆர்ம் பேலோட் 3 கிலோ
இணக்கமான வேஃபர் அளவு 12-இன்ச் (300 மிமீ)
மென்பொருள் இயக்க முறைமை விண்டோஸ் 10
X/Y பயணம் 400 மிமீ / 500 மிமீ
Z-Axis பயணம் 20மிமீ
தொடர்பு நெறிமுறை SECS/GEM
செயல்பாட்டு வரம்பு
பிளாஸ்மா சிகிச்சை பகுதி (W×D) 300×300மிமீ
பிந்தைய சிகிச்சை நீர் தொடர்பு கோணம் (WCA) WCA < 10° (சிலிக்கான் செதில்)
பிளாஸ்மா சிகிச்சை முறை கரிம மாசு நீக்கம் O2 செயல்முறை
உலோக ஆக்சைடை அகற்றுவதற்கான H2 செயல்முறை
பிளாஸ்மா அமைப்பு தேவைகள்
RF பவர் 27.12MHz இல் 600W
முக்கிய பிளாஸ்மா வாயு ஆர்கான்
செயல்முறை எரிவாயு O2, N2, அல்லது H2
எரிவாயு விநியோக அழுத்தம் வரம்பு 40–100 psi (0.3–0.7 MPa)






சூடான குறிச்சொற்கள்: MYW10 சங்கிலி உற்பத்தியாளர், MYW10 சங்கிலி சப்ளையர், நீடித்த தொழில்துறை சங்கிலி மொத்த விற்பனை
விசாரணையை அனுப்பு
தொடர்பு தகவல்
  • முகவரி

    5வது தளம், கட்டிடம் 2, எண். 182, சாங்கான் சியான் சாலை, சாங்கான் டவுன், டோங்குவான், குவாங்டாங் மாகாணம், சீனா.

  • டெல்

    +86-15016731717

  • மின்னஞ்சல்

    info@techckd.com

மேற்கோள் அல்லது ஒத்துழைப்பைப் பற்றி ஏதேனும் விசாரணை இருந்தால், தயவுசெய்து மின்னஞ்சல் அனுப்பவும் அல்லது பின்வரும் விசாரணைப் படிவத்தைப் பயன்படுத்தவும். எங்கள் விற்பனை பிரதிநிதி 24 மணி நேரத்திற்குள் உங்களைத் தொடர்புகொள்வார்.
X
உங்களுக்கு சிறந்த உலாவல் அனுபவத்தை வழங்கவும், தள போக்குவரத்தை பகுப்பாய்வு செய்யவும் மற்றும் உள்ளடக்கத்தைத் தனிப்பயனாக்கவும் நாங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துகிறோம். இந்தத் தளத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், எங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துவதை ஒப்புக்கொள்கிறீர்கள்.தனியுரிமைக் கொள்கை
நிராகரிக்கவும்ஏற்றுக்கொள்